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    万瑞超高真空冷泵通过国家02专项验收,中芯国际参与测试

    作者: 2019年04月12日 来源:全球阀门网 浏览量:
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    近日,科技部组织召开国家02专项(极大规模集成电路制造装备及成套工艺)“国产集成电路装备零部件量产应用工程”项目综合绩效评价会议。会议上,万瑞公司承担的超高真空冷泵研发及产业化课题任务正式通过验收。 万

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